ITO靶材
隐藏域元素占位
ITO（Indium Tin Oxide）靶材是指由锡、铟、氧三种元素组成的化合物靶材，具有优异的导电、透明性能和化学稳定性。
主要应用于以下几个领域：
（1）显示器件：LCD、PDP、OLED等。
（2）太阳能电池：ITO薄膜可以使光线更好地照射到太阳能电池组件中，提高电池的发电效率。
（3）触摸屏：ITO薄膜具有优异的导电性能和透明性能，经常被用作触摸屏面板的导电层。
（4）LED：ITO薄膜可以用作LED芯片中的透明导电层。
（5）防辐射玻璃、防雾去霜玻璃、太阳能玻璃等。
主要分为平面靶和旋转靶。
主要技术指标
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品名 |
ITO靶材 |
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成分 |
In₂O₃:SnO₂(90:10±0.5wt),其他比例按客户要求 |
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外观 |
黑色或黑灰色，片状或管状等其他形状 |
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纯度% |
≥99.99% |
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相对密度 % |
≥99.5% |
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制造规格（mm） |
最大尺寸1200*300的平面靶，Φ136*Φ152*L400mm的管状靶 |
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电阻率（mΩ.cm） |
≤1.8×10⁻⁴Ω▪cm |
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杂质不大于 |
Fe |
Al |
Si |
Ni |
Cu |
Pb |
Cr |
总和 |
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PPM |
15 |
10 |
15 |
5 |
5 |
5 |
5 |
100 |
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